SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源(yuán)将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际(guójì)半导体展览会，诚邀行业伙伴莅临(lìlín)14号馆(hàoguǎn)14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验模组 新品(xīnpǐn)首发 本次展会，广明源将首发推出自主研发(yánfā)的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体工艺(gōngyì)研发、制程验证及小批量试产环节设计(shèjì)，具备结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境与制程需求(xūqiú)。 172nm 深(shēn)紫外黑科技 可高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度(jiéjìngdù)与附着性能，为封装(fēngzhuāng)、清洗等工艺提供稳定前处理方案。 极简(jíjiǎn)结构，桌面级准分子实验新体验 由于(yóuyú)传统准分子光辐照器因(qìyīn)高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新(chuàngxīn)推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅(jǐn)相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破(dǎpò)空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等多(duō)领域研发需求。 封装工艺表面(biǎomiàn)清洁处理 超净化超微细清洗工艺验证(yànzhèng) 172nm 系列全线亮相(liàngxiàng)共襄盛会 除新品发布外，广明源还将展出多(duō)款172nm准分子系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体(bàndǎotǐ)基材表面活化(huóhuà)、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列光源 172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列模组及设备 SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎半导体制造企业(qǐyè)、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流(jiāoliú)，现场了解172nm准分子光(guāng)科技在半导体制造领域的多元应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳(shēnzhèn)）国际半导体展览会 时间：2025年6月(yuè)4-6日 地点：深圳国际(guójì)会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网(běnwǎng)转发此文章，旨在为读者提供更多信息资讯，所涉(suǒshè)内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方核实或(huò)与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）